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產(chǎn)品中心

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潔凈機(jī)器人

新松潔凈自動(dòng)化系列產(chǎn)品經(jīng)過(guò)10多年的技術(shù)沉淀已形成系列化單體產(chǎn)品,同時(shí)注重模塊化單元及設(shè)備平臺(tái)建設(shè),以成套化和規(guī)模化為發(fā)展目標(biāo),擁有100余人的專(zhuān)業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),在沈陽(yáng)擁有5000平米的凈化間,目前主要應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋IC裝備、平板顯示、光伏、電子等行業(yè),能夠?yàn)榭蛻?hù)提供完整的技術(shù)解決方案和交鑰匙工程。完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù),技術(shù)水平國(guó)內(nèi)領(lǐng)先達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
TSS-3000 EFEM
TSS-3000 EFEM

一體化程度高,自動(dòng)化程度高,安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶(hù)定制,擁有新松自主研發(fā)的控制器,Aligner,方便在視窗觀察的可拆卸單元門(mén),易移動(dòng)框架,帶有隔離的風(fēng)扇 過(guò)濾系統(tǒng),可拆分的設(shè)備結(jié)構(gòu),從而保證設(shè)備潔凈、可靠的運(yùn)行。

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真空機(jī)械手 Archer 系列
真空機(jī)械手 Archer 系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu),全新的IO模塊,具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能,擁有SEMI認(rèn)證。滿(mǎn)足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶(hù)定制,手臂長(zhǎng)度可選,可為客戶(hù)提供接口及末端定制服務(wù)。

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真空傳輸平臺(tái)Diagram 600
真空傳輸平臺(tái)Diagram 600

作為半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線的必要設(shè)備,本平臺(tái)一般包含在整套半導(dǎo)體制造設(shè)備系統(tǒng)之中,是硅片盒(Cassette)到工藝腔(CVD,ALD,PVD等)之間的硅片搬送系統(tǒng)。

真空機(jī)械手PHOENIX B系列
真空機(jī)械手PHOENIX B系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu),全新的IO模塊,具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能,擁有SEMI認(rèn)證。滿(mǎn)足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶(hù)定制,手臂長(zhǎng)度可選,可為客戶(hù)提供接口及末端定制服務(wù)。

真空機(jī)械手PHOENIX-S25系列
真空機(jī)械手PHOENIX-S25系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu),全新的IO模塊,具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能,擁有SEMI認(rèn)證。滿(mǎn)足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶(hù)定制,手臂長(zhǎng)度可選,可為客戶(hù)提供接口及末端定制服務(wù)。

真空機(jī)械手PHOENIX PLUS B系列
真空機(jī)械手PHOENIX PLUS B系列

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu),全新的IO模塊,具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能,擁有SEMI認(rèn)證。滿(mǎn)足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶(hù)定制,手臂長(zhǎng)度可選,可為客戶(hù)提供接口及末端定制服務(wù)。

Titan1500C
Titan1500C

具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能機(jī)器人具有更卓越的動(dòng)力性能,可滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性使用要求。

SRBZ970C
SRBZ970C

具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能機(jī)器人具有更卓越的動(dòng)力性能,可滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性使用要求。

SRBZ820C
SRBZ820C

具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能機(jī)器人具有更卓越的動(dòng)力性能,可滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性使用要求。

SRBZ820C-G
SRBZ820C-G

具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能機(jī)器人具有更卓越的動(dòng)力性能,可滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)的高精度、高速度、高穩(wěn)定性、高溫工況使用要求。

真空機(jī)械手 SM11
真空機(jī)械手 SM11

直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu),全新的IO模塊,具有先進(jìn)的防碰撞保護(hù)功能及輸入信號(hào)支硬件中斷功能,擁有SEMI認(rèn)證。滿(mǎn)足個(gè)性化設(shè)計(jì)支持用戶(hù)定制,手臂長(zhǎng)度可選,可為客戶(hù)提供接口及末端定制服務(wù)。

TSS-4000 EFEM
TSS-4000 EFEM

一體化程度高,自動(dòng)化程度高,安全區(qū)保護(hù),SEMI認(rèn)證S2、F47,網(wǎng)絡(luò)化控制器,接口可用戶(hù)定制,擁有新松自主研發(fā)的控制器,Aligner,方便在視窗觀察的可拆卸單元門(mén),易移動(dòng)框架,帶有隔離的風(fēng)扇 過(guò)濾系統(tǒng),可拆分的設(shè)備結(jié)構(gòu),從而保證設(shè)備潔凈、可靠的運(yùn)行。

TSS-2000 EFEM
TSS-2000 EFEM

SEMI認(rèn)證S2、F47
接口可用戶(hù)定制

LoadPort
LoadPort

LoadPort是新松公司自主研發(fā)的一種晶圓裝載裝置,可安裝在EFFM上,適用于8寸和12寸晶圓盒的裝載,具備準(zhǔn)確的mapping功能,可自動(dòng)識(shí)別盒內(nèi)晶圓各槽狀態(tài),如單片、跨片、異常片,通過(guò)獨(dú)創(chuàng)的開(kāi)關(guān)門(mén)機(jī)構(gòu)和精確的運(yùn)動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)了高清潔性能,同時(shí)具有良好的穩(wěn)定性和速度。

SMIF
SMIF

SMIF是一種晶圓裝載與檢測(cè)集成裝置,適用于6寸和8寸晶圓盒的自動(dòng)開(kāi)關(guān)盒,效率高,穩(wěn)定性好,重復(fù)定位精度高,潔凈等級(jí)為Class1;具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能,能自動(dòng)檢測(cè)盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài),例如單片、跨片;具有開(kāi)盒時(shí)自動(dòng)識(shí)別盒內(nèi)晶圓尺寸的功能,更加便于使用;具有靈敏的晶圓滑出保護(hù)功能,可以自動(dòng)監(jiān)測(cè)盒內(nèi)異常狀況,有效保護(hù)晶圓;具有實(shí)時(shí)檢測(cè)的機(jī)械手互鎖和光柵互鎖功能,可以有效保護(hù)機(jī)械手以及人身安全;具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國(guó)大陸自主設(shè)計(jì)制造,推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步,有效的支撐了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。

立式爐Mini STK
立式爐Mini STK

立式爐Mini STK應(yīng)用于立式爐管設(shè)備前端,適用于FOUP的轉(zhuǎn)運(yùn) 、暫存和開(kāi)盒。

大氣機(jī)械手Blade-SD210
大氣機(jī)械手Blade-SD210

高潔凈等級(jí),高速傳片,碰撞保護(hù),Mapping,SEMI認(rèn)證S2,F(xiàn)47,迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)手指及接口用戶(hù)可定制。

大氣機(jī)械手Blade-S225
大氣機(jī)械手Blade-S225

高潔凈等級(jí),高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護(hù),Mapping功能,SEMI認(rèn)證,提供接口及末端定制。

大氣機(jī)械手Blade-S175-EX
大氣機(jī)械手Blade-S175-EX

高潔凈等級(jí),高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護(hù),Mapping功能,SEMI認(rèn)證,提供接口及末端定制

大氣機(jī)械手Blade-DD250
大氣機(jī)械手Blade-DD250

高潔凈等級(jí),高精度,高速傳片,耐腐蝕,碰撞保護(hù), SEMI認(rèn)證,提供接口及末端定制

大氣機(jī)械手Blade-D156
大氣機(jī)械手Blade-D156

高潔凈等級(jí),高速傳片,碰撞保護(hù), Mapping,SEMI認(rèn)證S2,F(xiàn)47

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