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真空機械手 SM11

直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統(tǒng)運行的平穩(wěn)性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖,傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能??梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖螅ㄖ剖直鄢叽?,耐高溫耐腐蝕特性等。

advantages

產品優(yōu)勢
  • 性能安全穩(wěn)定可靠
    運行平穩(wěn)性好、高真空度
  • 高品質
    具有高剛性、高速度、高精度等優(yōu)勢
  • 性價比優(yōu)越
    適用于潔凈領域,輕量級設計使其與產線融于一體,作業(yè)空間利用率高
  • 高潔凈度
    優(yōu)選材料、加工以及表面處理
  • 控制技術優(yōu)越
    動作靈活輕巧快捷,操作持久耐用
  • 高優(yōu)良特性
    滿足各類柔性化集成和生產等優(yōu)良特性于一體

Application areas

產品應用領域

parameter

產品參數
  • 晶圓尺寸

    φ200mm

  • 負載重量

    ≤0.5Kg

  • R軸重復定位精度

    ±0.05mm

  • θ軸重復定位精度

    ±0.006°

  • R軸行程

    ≤530.5mm

  • T軸行程

    360°

  • 真空度

    <1×10-7 Torr

  • 漏率

    <1×10-9 std.cc/sec He

  • 整機重量

    25kg

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