直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性,系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好,可靠性更高。全新的IO模塊,具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖,傳感器檢測(cè)等功能。輸入信號(hào)支硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能,減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器,方便調(diào)試人員使用,并支持熱插拔功能??梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求,定制手臂尺寸,耐高溫耐腐蝕特性等。
φ200、φ300mm
≤0.5Kg
±0.05mm
±0.006°
±0.05mm
≤1220mm
360°T軸行程
95mm/135mm
<1×10-9 std.cc/sec He