EFEM是一個晶圓前端傳輸設備,是一個與SEMI標準兼容的界面系統(tǒng),可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小,采用帶外部軸的雙臂機械手,通過雙軸復合運動實現取放片,極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產品維護成本。內部全新的氣體導流結構,保證內部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別,保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設備的安全。
1820*780*2300mm
≤1100kg
class 1
±0.1mm
±0.2°
≥400