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SRBZ970C真空潔凈機器手采用網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)，具有優(yōu)良的防碰撞保護功能及動態(tài)糾偏功能，全新的軌跡規(guī)劃，提高運動節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能，安全區(qū)保護等功能有效地提高了產(chǎn)品的安全等級。產(chǎn)品通過SEMI認證S2，F(xiàn)47，MCBF大于1000萬次。產(chǎn)品在磁流體密封技術(shù)及手臂使用鋼帶進行動力傳輸?shù)募夹g(shù)加持下，具備高潔凈度，高真空度、低漏率，耐高溫、耐腐蝕，負載能力強等特點。SRBZ970C作為LED芯片制造領(lǐng)域的真空機械手產(chǎn)品主要用于LED芯片制造過程中，實現(xiàn)裝有大量LED晶圓的托盤在各個工藝腔室間的傳送，在使用過程中因其高精度、高傳輸效率、負載能力強等特點，大大提高了LED芯片生產(chǎn)制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關(guān)鍵產(chǎn)品。本產(chǎn)品在集成電路制造用真空機械手的基礎(chǔ)上，針對其大負載需求，創(chuàng)新了其傳輸結(jié)構(gòu)和控制規(guī)律，使其能夠達到1.5kg的負載能力，以高品質(zhì)、高性價比、靈活的本地化、可定制化服務(wù)服務(wù)于廣大客戶并在行業(yè)取得領(lǐng)先位置。