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產(chǎn)品中心

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Titan1500C

Titan1500C真空潔凈機(jī)器手采用網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng),具有優(yōu)良的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能,產(chǎn)品通過SEMI認(rèn)證,MCBF大于1000萬次。產(chǎn)品在磁流體密封技術(shù)及手臂使用鋼帶進(jìn)行動(dòng)力傳輸?shù)募夹g(shù)加持下,具備高潔凈度,高真空度、低漏率,耐高溫、耐腐蝕,負(fù)載能力強(qiáng)等特點(diǎn)。Titan1500C作為LED芯片制造領(lǐng)域的真空機(jī)械手產(chǎn)品主要用于LED芯片制造過程中,實(shí)現(xiàn)裝有大量LED晶圓的托盤在各個(gè)工藝腔室間的傳送,在使用過程中因其高精度、高傳輸效率、負(fù)載能力強(qiáng)等特點(diǎn),大大提高了LED芯片生產(chǎn)制造的良率和效率,是LED芯片制造裝備的關(guān)鍵產(chǎn)品。本產(chǎn)品在集成電路制造用真空機(jī)械手的基礎(chǔ)上,針對其大負(fù)載需求,創(chuàng)新了其傳輸結(jié)構(gòu)和控制規(guī)律,使其能夠達(dá)到12kg的負(fù)載能力,以高品質(zhì)、高性價(jià)比服務(wù)于廣大客戶并在行業(yè)取得領(lǐng)先位置。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 鋼帶結(jié)構(gòu)
    高潔凈度、耐高溫、耐腐蝕
  • 磁流體密封技術(shù)
    高真空度、低漏率
  • 拋光不銹鋼手臂、亮面不銹鋼護(hù)罩
    表面美觀、高潔凈度
  • 精簡傳動(dòng)
    精簡傳動(dòng)結(jié)構(gòu),高效,長壽命
  • 軟件控制系統(tǒng)
    效果優(yōu)良的碰撞保護(hù)功能、動(dòng)態(tài)糾偏功能
  • 質(zhì)量可靠
    高品質(zhì)零部件,精密裝配,嚴(yán)格檢驗(yàn),確保高精度、高壽命
  • 模塊化
    方便維修維護(hù)

Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 有效載荷

    ≤12kg

  • 工作范圍

    ≤1500

  • 控制軸數(shù)

    3

  • 重復(fù)定位精度

    ±0.2

  • 安裝方式

    上法蘭安裝

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