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產(chǎn)品中心

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大氣機(jī)械手Blade-S175-EX

大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)。手臂采用先進(jìn)的結(jié)構(gòu)加強(qiáng)了手臂的剛性，并有效抑制振動(dòng)，輕量化設(shè)計(jì)滿足高速要求。本體的制造工藝改進(jìn)有效降低成本，提升市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實(shí)現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護(hù)功能。肘部和腕部靈活控制，使得機(jī)器人可以采用任意姿勢(shì)來(lái)取放晶圓，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強(qiáng)。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢(shì)之選。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
  • 手臂結(jié)構(gòu)先進(jìn)
    增強(qiáng)手臂剛性，抑制振動(dòng)
  • 改進(jìn)本體制造工藝
    降低成本，競(jìng)爭(zhēng)力強(qiáng)
  • 個(gè)性化設(shè)計(jì)
    用戶可定制手指及接口
  • 高潔凈度
    優(yōu)選材料、加工以及表面處理
  • 肘部、腕部靈活
    任意姿勢(shì)取放晶圓，節(jié)省空間，適應(yīng)性強(qiáng)
  • 多重安全保護(hù)
    軟件控制系統(tǒng)，防止碰撞
  • 質(zhì)量可靠
    高品質(zhì)零部件，精密裝配，嚴(yán)格檢驗(yàn)，高壽命

Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 結(jié)構(gòu)形式

    柱坐標(biāo)型/SCARA型

  • 負(fù)載-名稱

    晶圓

  • 負(fù)載-直徑

    φ200mm/φ300mm

  • 負(fù)載-重量

    ≤0.5kg

  • 自由度數(shù)

    3

  • 最大回轉(zhuǎn)直徑

    505mm

  • 運(yùn)動(dòng)范圍-升降軸（Z軸）

    960mm

  • 運(yùn)動(dòng)范圍-回轉(zhuǎn)軸（T軸）

    340°

  • 運(yùn)動(dòng)范圍-伸展軸（R軸）

    645mm

  • 最大速度-升降軸（Z軸）

    400mm/s

  • 最大速度-回轉(zhuǎn)軸（T軸）

    340°

  • 最大速度-伸展軸（R軸）

    645mm

  • 重復(fù)定位精度-升降軸（Z軸）

    ±0.1mm (3σ)

  • 重復(fù)定位精度-回轉(zhuǎn)軸（T軸）

    ±0.01°(3σ)

  • 重復(fù)定位精度-伸展軸（R軸）

    ±0.1mm (3σ)

  • 潔凈度

    ISO CLASS 4

  • 主機(jī)重量

    90kg

  • 電源

    VAC 220V±10

  • 行程

    618mm

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