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產(chǎn)品中心

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SMIF

SMIF是一種晶圓裝載與檢測集成裝置，適用于6寸和8寸晶圓盒的自動(dòng)開關(guān)盒，效率高，穩(wěn)定性好，重復(fù)定位精度高，潔凈等級(jí)為Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能，能自動(dòng)檢測盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)，例如單片、跨片；具有開盒時(shí)自動(dòng)識(shí)別盒內(nèi)晶圓尺寸的功能，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護(hù)功能，可以自動(dòng)監(jiān)測盒內(nèi)異常狀況，有效保護(hù)晶圓；具有實(shí)時(shí)檢測的機(jī)械手互鎖和光柵互鎖功能，可以有效保護(hù)機(jī)械手以及人身安全；具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國大陸自主設(shè)計(jì)制造，推動(dòng)了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)步，有效的支撐了國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 優(yōu)勢明顯
    速度快、穩(wěn)定性好
  • 可掛載
    可掛載到Semi標(biāo)準(zhǔn)EFFM機(jī)械接口上
  • 多兼容
    兼容6寸和8寸晶圓和的開啟和關(guān)閉
  • 自動(dòng)識(shí)別
    自動(dòng)識(shí)別盒內(nèi)晶圓尺寸以及盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)
  • 內(nèi)置多傳感器
    內(nèi)置晶圓滑出和卡塞錯(cuò)位傳感器

Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 動(dòng)作對象

    200mm Carrier

  • 移載重量

    0.8kg (需要進(jìn)行5kg配重提升三次測試)

  • 重復(fù)位置精度

    ±0.1mm

  • 片盒檢查

    RFID讀取、微型光電傳感器、對射式光電傳感器

  • 材質(zhì)

    耐酸鋁+不銹鋼

  • 外形尺寸

    815H*365W*425D（mm）

  • 本體重量

    65kg

  • 工作臺(tái)

    帶有片盒載荷傳感器

  • 可靠性

    MTBF：17000h

  • 開盒時(shí)間

    12.5s

  • 關(guān)盒時(shí)間

    14s

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