EFEM是一個晶圓前端傳輸設(shè)備,是一個與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng),可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務(wù)。占地面積小,采用帶外部軸的雙臂機械手,通過雙軸復(fù)合運動實現(xiàn)取放片,極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產(chǎn)品維護(hù)成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu),保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別,保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護(hù),從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設(shè)備的安全。
2650*750*2500mm
≤1100kg
class 1
±0.1mm
±0.2°
≥400