首屆世界集成電路大會(簡稱“IC WORLD”)于10月22日至24日在北京亦莊國際會展中心隆重舉行。北京市人民政府、中芯國際集成電路制造(北京)有限公司、京東方集團、聯(lián)想集團等領頭羊企業(yè)齊聚一堂,共同展望全球集成電路產業(yè)的未來。
本次大會是集成電路產業(yè)鏈成果展示的盛會,更是產業(yè)同仁學習交流的盛會。新松機器人自動化股份有限公司(以下簡稱“新松”)作為一家致力于全智能產品及服務的高科技上市企業(yè),中國機器人產業(yè)的翹楚和工業(yè)4.0的踐行者和推動者,重裝參展IC WORLD盛會,助力集成電路產業(yè)宣傳。新松公司重點業(yè)務涵蓋核心零部件、機器人和正常自動化解決方案。2018年新松整合了IC裝備業(yè)務,成立了半導體裝備BG,并收購韓國新盛(SHINSUNG FA)。完全擁有自主知識產權和核心技術,技術水平國內領先,達到國際先進水平。
潔凈(真空)機器人及半導體裝備作為新松公司的核心業(yè)務之一,現已形成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個產品線。潔凈產品客戶現已遍及大陸以及臺灣地區(qū)。新松本次參展的產品是真空機械手Pinus-B37及復合機器人。
新松PINUS-B37 是全球領先的對稱連桿型真空直驅機械手,由新松公司自主研發(fā)設計,采用磁流體密封、直驅電機密封等技術;帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能,易于操作,具有牽引示教功能;這些高靈活性,高穩(wěn)定性的設計尤其適用于等離子刻蝕設備Etcher、物理氣相沉積PVD、化學氣象沉積CVD等工藝設備,尤其可以對應多腔室真空設備,能夠滿足滿足IC產業(yè)自動化領域的傳輸需求。
新松復合機器人基于移動機器人和工業(yè)機器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合,綜合視覺補償、力覺控制、碰撞保護和主動導航等技術,可快速布局自動化工廠,適應高柔性化生產模式,實現友好的人機協(xié)作功能,具有高效的智能物料配送方案。滿足企業(yè)數字化工廠對生產設備的苛刻需求,主要應用于半導體封裝測試環(huán)節(jié),可滿足FOUP,CST,MGZ在各機臺間的自動運輸,終端定位精度可達±0.05mm,CLASS 100潔凈度,能為半導體生產應用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。